Preview

Радиопромышленность

Расширенный поиск

АНАЛИЗ ДРЕЙФА СОБСТВЕННЫХ ЧАСТОТ МИКРОРЕЗОНАТОРОВ, ОБУСЛОВЛЕННЫХ ДИССИПАЦИЕЙ КИНЕТИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ КОЛЕБАНИЙ

https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-4-27-31

Полный текст:

Аннотация

Микроминиатюризация датчиков физических величин (МЭМС) приводит к появлению специфических проблем, не характерных для устройств обычного исполнения, отражающихся на метрологических и их эксплуатационных характеристиках. К ним относятся многочисленные размерные факторы – физические процессы, активизирующиеся в микрообъемах конструкций МЭМС в процессе работы. В статье исследуется одна из методических погрешностей микромеханического датчика давления с резонансным измерительным преобразователем. Причиной этой погрешности является разогрев резонатора в результате диссипации в нем кинетической энергии колебаний.

Об авторах

А. А. Оводенко
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург, Россия
Россия
д.т.н., президент


Н. А. Овчинникова
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург, Россия
Россия
к.т.н., доцент


Е. В. Андреева
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург, Россия
Россия
аспирант


Б. В. Осколков
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург, Россия
Россия
cтудент


Список литературы

1. Lifshitz R. Dissipation in Nanomechanical system. Theoretical overview DARPA. Workshop on NEMS. San Diego, 1999.

2. Filonov O., Kirshina I., Okin P. Influence of internal temperature fields on parameters of own fluctuations of microostsillyator. «East West»: Association for Advanced Studies and Higher Education GmbH, Vienna, 2014, pp. 258–264.

3. Бестугин А. Р., Оводенко А. А., Киршина И. А., Осколков Б. В., Филонов О. М. Адгезия в микромеханических системах // Датчики и системы. 2016. № 1. С. 5–10.

4. Candler R. Impact of slot location on thermoplastic resonators Solid-State sensor, Actuators and Microsystems. The 13th international Conference «Тransducers’05», 2005, Vol. 1, pp. 597–600.

5. Тимошенко С. П. Колебания в инженерном деле. М.: Машиностроение, 1985.


Для цитирования:


Оводенко А.А., Овчинникова Н.А., Андреева Е.В., Осколков Б.В. АНАЛИЗ ДРЕЙФА СОБСТВЕННЫХ ЧАСТОТ МИКРОРЕЗОНАТОРОВ, ОБУСЛОВЛЕННЫХ ДИССИПАЦИЕЙ КИНЕТИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ КОЛЕБАНИЙ. Радиопромышленность. 2016;26(4):27-31. https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-4-27-31

For citation:


Ovodenko A.A., Ovchinnikova N.A., Andreeva E.V., Oskolkov B.V. ANALYSIS OF DRIFT IN NATURAL FREQUENCIES OF MICRORESONATORS CAUSED BY DISSIPATION OF OSCILLATIONS KINETIC ENERGY. Radio industry (Russia). 2016;26(4):27-31. (In Russ.) https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-4-27-31

Просмотров: 180


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2413-9599 (Print)
ISSN 2541-870X (Online)