Preview

Радиопромышленность

Расширенный поиск

ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ

https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-3-59-62

Полный текст:

Аннотация

Рассмотрены возможности эллипсометрического метода для оптимизации определения показателя преломления оксинитридных диэлектрических пленок, проанализированы возможности эллипсометрии для определения толщины и оптических констант металлических пленок и полупроводникового соединения FeSi2.

Об авторах

С. Ю. Боголюбова
АО «НПП “Пульсар”»
Россия

инженер 1-й категории, АО «НПП “Пульсар”», 105187, Москва, Окружной пр-д, д. 27, тел. 8 (495) 366-54-00



Е. Г. Полякова
ФГУП «МНИИРИП»
Россия

инженер-испытатель 1-й категории, ФГУП «МНИИРИП», Мытищи, ул. Колпакова, д. 2А, тел.: 8 (977) 440-72-55



Р. Р. Резвый
ООО НПП «Автоматика-С»
Россия

д. т. н., зам. начальника отдела по научной работе, ООО НПП «Автоматика-С», 123298, Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 13, корп. 1, тел. 8 (495) 956-49-95



Список литературы

1. Ржанов А. В., Свиташев К. К. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1979. 423 с.

2. А ззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1982. 582 с.

3. Р езвый Р. Р. Эллипсометрия в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 1983, 120 с.

4. Г руздов В. В., Колковкий Ю. В., Концевой Ю. А. Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике. М.: Техносфера, 2016. 328 с.

5. Б ешенков В. Г., Пархоменко Ю. Н., Подгорный Д. А., Полякова Е. Г. Диагностика фазового состава скрытых слоев силицидов железа в кремнии по оже-спектрам при ионном профилировании // Материалы ХХ Российской конференции по электронной микроскопии. 2005. Т. 69. № 4. С. 493–497

6. Т арасов И. А., Косырев Н. Н., Варнаков С. Н. и др. Эллипсометрическая экспресс-методика определения толщины и профилей оптических постоянных в процессе роста наноструктур Fe/SiO2/Si(100) // Журнал технической физики. 2012. Т. 82. С. 44.

7. Б урыкин И. Г. и др. Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии. М.: Наука, 1980. 192 с.

8. З авадский Ю. И., Концевой Ю. А. Программа POL-KNS, BAS. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2010613998 от 21.06.2010.

9. Г уськов Б. Л., Завадский Ю. И., Концевой Ю. А. Программа REF-3D, BAS. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2011617200 от 21.06.2010.

10. Гуськов Б. Л., Завадский Ю. И., Концевой Ю. А. Программа OPT-MIN, BAS. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2011617200 от 28.07.2011.

11. Тарасов И. А., Попов З. И., Варнаков С. Н. и др. // Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2014. Т. 99. С. 610.


Для цитирования:


Боголюбова С.Ю., Полякова Е.Г., Резвый Р.Р. ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. Радиопромышленность. 2016;26(3):59-62. https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-3-59-62

For citation:


Bogolyubovа S., Polyakova E., Rezvyi R. ELLIPSOMETRIC METHODS FOR CONTROL OF PARAMETERS OF MATERIALS AND RADIOELECTRONICS STRUCTURES. Radio industry (Russia). 2016;26(3):59-62. (In Russ.) https://doi.org/10.21778/2413-9599-2016-3-59-62

Просмотров: 240


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2413-9599 (Print)
ISSN 2541-870X (Online)